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Fiche Equipement

Plateforme SURFACE

Domaines : Sciences et Technologies de l'Industrie
Ref. Fiche : EQM766

Compétences techniques

  • Élaboration de films minces et de revêtements par dépôts physiques en phase vapeur ;
  • Structuration de surfaces aux échelles micro- ou nanométriques; 
  • Caractérisations des propriétés des surfaces ou des films minces; 

La plateforme SURFACE possède des moyens uniques d’élaboration et de caractérisations de couches minces. Elle rassemble une quinzaine de spécialistes de ces domaines et un parc expérimental estimé à 6 millions d'euro.

Domaines d'application

Energie, environnement, spatial, défense, luxe, santé, mécanique

Analyses et équipements

Moyens d’élaboration :

Pour la partie élaboration, SURFACE dispose de réacteurs de dépôts physiques en phase vapeur (réacteurs industriels et d’architecturation) et de structurations des surfaces aux échelles micro- et nanométriques.

Les moyens d’élaboration de la plateforme SURFACE, pour la plupart de taille industrielle, rassemblent l’essentiel des technologies de dépôt physique en phase vapeur : arc cathodique sous basse pression, pulvérisation cathodique magnétron pour le dépôt de films métalliques et céramiques.

Nous disposons également de moyens d’élaboration spécifiques au domaine de la recherche pour les dépôts de couches ultra-minces métalliques et organiques (chauffage par canon à électrons, électro-spray, dépôt en phase liquide par spin-coating ...).

Elle dispose également de moyens de dépôt en phase liquide et sous ultra-vide par évaporation thermique et par électro-spray.

 

Moyens de caractérisations :  

La plateforme SURFACE propose également un large éventail de moyens de caractérisations de l’échelle atomique à l’échelle macroscopique qui permettent :

  • des analyses chimiques (MEB-FEG + EDS+EBSD, SDL)
  • des analyses structurales (DRX)
  • des analyses optiques (spectromètre UV-visible-IR)
  • des analyses mécaniques (NHT, tribomètre pion-plan),
  • des analyses massiques (Thermobalance)
  • des analyses topographiques de l’échelle micro (surfomètre) à nano (microscopes à force atomique (AFM) et à effet tunnel (STM)).

Des bancs spécifiques de caractérisation électrochimique (corrosion, mesure de conductivité ionique, électrique), de mesures thermoélectriques (TFA) ou de capteurs de gaz sont également disponibles.

La liste exhaustive est accessible ici : https://platforms.femto-st.fr/SURFACE/fr/materiel

 

Exemples de réalisations

  • Réalisation d’un réacteur électrochimique
  • Nouveaux matériaux pour des applications médicales